微影設備大廠荷商艾司摩爾(ASML)昨(18)日召開法人說明會,宣布在新一代極紫外光(EUV)系統設備接單大增,並預期EUV系統在今、明兩年出貨量將大躍進。隨著EUV確定成為微影製程新主流,ASML的EUV設備模組代工廠帆宣(6196)、EUV光罩盒(EUV Pod)供應商家登(3680)接單能見度直透下半年,可望成為技術世代交替的最大受惠者。


包括英特爾、台積電、三星等一線半導體大廠,已確定將在浸潤式多重曝光技術之後,採用EUV為下一代微影技術主流。而隨著EUV的每小時晶圓進出(throughput)生產效率超過125片晶圓,設備委善率(availability)平均超過90%,ASML在昨日法說會中宣布接獲EUV系統大訂單,業界對於2018年將是EUV產能建置元年已有高度共識。


ASML在法說會中指出,去年第四季已出貨4台EUV系統,全年總出貨量達10台,有2台會在今年1月出貨。而近期再接獲10台EUV系統大訂單,累計接單但未出貨(backlog)數量已提高至28台,潛在營收貢獻超過30億歐元。ASML預期2018年的EUV系統出貨量將達22台,較2017年增加逾1倍,2019年出貨目標是30台以上。


以晶圓代工廠的製造推進來看,台積電將在明年量產的7+奈米會在部份光罩層開始採用EUV技術,三星則是自今年起就會推出部份光罩層採用EUV製程的7奈米產能,格羅方德(GlobalFoundries)及英特爾亦確定會在明年之後導入EUV製程。


隨著ASML的EUV系統接單大增且出貨放量,已打進EUV生態系統的帆宣及家登將成最大受惠者。法人表示,帆宣與ASML合作多年,承接EUV雷射穩壓模組代工訂單,帆宣接單自然水漲船高,訂單能見度等同於看到2019年。


帆宣去年第四季合併營收56.20億元,創下單季營收歷史新高,法人預估每股淨利應可站上3.5元。


家登是亞太區唯一可量產EUV光罩盒的業者,由於EUV系統每年對光罩盒的需求量超過100顆,EUV光罩盒銷售單價又超過1萬美元,法人看好家登今年EUV營收貢獻將大爆發。

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